Augsta līmeņa metāla silīcija nitrīds

Silīcija nitrīdsPlānajām plēvēm ir blīva struktūra, augsta izturība un laba nodiluma izturība, un tās var izmantot kā strukturālas sastāvdaļas MEMS ierīcēs. Silīcija nitrīda plēvju jauniešu modulis un cietība tika pārbaudīta ar PECVD metodi, un tika analizēta nogulsnēšanās temperatūras un reakcijas gāzes plūsmas koeficienta ietekme uz Younga moduli un filmu cietību. Silīcija nitrīda plēve tika izmantota kā balstiekārtas stars, lai izgatavotu RF MEMS slēdžus.

1.Silīcija nitrīdsKeramika ir augstas temperatūras un augstas izturības strukturālā keramika ar plašām attīstības perspektīvām. Tam ir augsta veiktspēja (piemēram, augsta izturība, laba termiskā šoka stabilitāte, izturība pret augstu nogurumu, augsta lieces izturība istabas temperatūrā, nodiluma izturība, izturība pret oksidāciju, izturība pret koroziju utt.), Un tas ir plaši izmantots visās dzīves jomās. Silīcija nitrīda sagatavošanas metodes galvenokārt ietver reakcijas saķepināšanu (RS), karstā spiediena saķepināšanu (HP), atmosfēras spiediena saķepināšanu (PLS) un pneimatisko spiediena saķepināšanu (GPS). Pašlaik galvenā problēma ir tā, ka silīcija nitrīda keramikas izstrādājumiem ir zema izturība un augstas izmaksas. Nākotnē ir jāuzlabo frēzēšanas, veidošanas un saķepināšanas procesi, kā arī silīcija nitrīda un silīcija karbīda salikšana, lai izstrādātu labāku silīcija nitrīda keramiku.

Populāri tagi: Augsta līmeņa metāla silīcija nitrīds, Ķīna Augsta līmeņa metāla silīcija nitrīdu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca